掃描聲學顯微鏡的掃描模式:
(1)脈沖反射模式:利用反射波成像(圖3)
優點:可以聚焦到具體某一界面進行檢測,成像清晰,能夠判斷缺陷的深度。
缺點:通常需要對樣品正反面掃描。
脈沖反射模式常用的掃描方式:
A-Scan:超聲波的基本信號源,該波形代表了超聲波聚焦在樣品某一點上后得到的反射波形。
B-Scan:也叫縱向截面的掃描,可以確定缺陷縱向上的位置。
C-Scan:也叫平面掃描,通過選擇關注的界面波形在樣品上方來回掃描,把樣品每一點反射的波形處理形成二維圖像,可以精確地觀察感興趣的界面,判斷該界面或材料的缺陷。圖5為通過脈沖反射波(C-Scan)成像檢測倒裝芯片underfill的分層。
(2)透射模式:利用透射波成像(圖4)
優點:一次掃描可檢測所有界面,可驗證脈沖反射成像結果,也可用于大批量器件快速篩選。
缺點:無法確認缺陷的位置,相比于反射波成像分辨率較低。
圖6為通過透射模式成像檢測塑封器件的內部分層。