在看到C-SAM這個英文簡稱的時候,很多人都不知道是什么意思,其實它就是超聲波顯微鏡的英文縮寫,目前這種設備廣泛用于檢測工作中,它的基本原理就是通過傳輸超聲波信號來檢測各種介質的狀態和密度,根據接收到的發射回波來判斷被檢測的材料是否存在缺陷,比如材料內部的裂紋,氣孔以及脫層等,其用途是相當廣泛的。
一、用于材料科學檢測
在工業生產領域,不管是那種產品的生產都會出現一定的不良率,有些不良品的缺陷是比較明顯的,常規檢測方式就可以找到問題所在。但是面對一些無法從表面看出問題的不良品時,則需要用到C-SAM進行檢測,這種超聲波技術可以快速的檢測出產品內部一些細微的瑕疵問題,而且屬于無損檢測,不會給產品造成二次的損傷。
二、用于半導體行業檢測
半導體行業有著較高的科技含量,其生產工藝是非常復雜的,通常來說,在一個成品上就集成了大量的半導體零件,通過常規手段根本無法對這些數量龐大的零部件進行檢測,畢竟在出現不良品的時候往往只有少數幾個零部件出現問題,排查工作非常困難。采用C-SAM進行掃描檢測,這樣就簡單高效得多,可以準確的找出有問題的零件。
三、用于晶圓鍵合缺陷檢測
這種超聲波掃描儀還常見于晶圓鍵合缺陷檢測,在該領域發揮的作用也很大,這些晶圓制作過程中涉及到了復雜的工藝流程,而在每一個環節上都是可能出現問題的,比如化學氣相沉淀,化學機械研磨等,要想找出這些工藝上造成的產品缺陷,使用超聲波掃描儀就是非常好的選擇。
綜上所述,C-SAM的用途是很廣泛的,它不僅能夠快速的將各種材料缺陷給檢測出來,且屬于無損檢測,能夠更好的保障產品的質量。