掃描顯微鏡是一種利用傳播媒介的無損檢測設備。在工作中采用反射或者透射等掃描方式來檢查元器件、材料、晶圓等樣品內部的分層、空洞、裂縫等缺陷。超聲掃描顯微鏡的原理是利用脈沖回波的性質,激勵壓電換能器發射出多束通過耦合液介質傳遞到被測樣品,在經過不同介質時會發生折射、反射等現象,通過阻抗不同的材料時會發生波形相位、能量上的變化等現象,經過一系列數據采集計算形成灰度值圖片,可用來分析樣品內部狀況。
該設備作為無損檢測分析中的一種,它可以實現在不破壞物料電氣能和保持結構完整性的前提下對物料進行檢測。被廣泛的應用在物料檢測(IQC)、失效分析(FA)、破壞性物理分析(DPA)、可靠性分析、元器件二次篩選、質量控制(QC)、質量保證及可靠性(QA/REL)、研發(R&D)等領域。
科視達專為廣大用戶提供國際上先進的超聲掃描檢測檢驗設備, 系德國 PVA TePla 超聲波掃描顯微鏡 ( SAM /SAT ) 之中國區代理。其擁有數十款超聲掃描顯微鏡整體硬件及相關的耗材配件。其AM300基本型就支持A-(點掃描),B-(縱向掃描),C-(橫向掃描),D- 斜面掃描、G-/X-橫向多層掃描,P- 縱向多層掃描,3D掃描,Z-實體掃描,透射掃描(需配置透射掃描單元及接收探頭選項),S-掃描(透射 C-掃描同時進行),HQ-高清掃描,順序掃描,自動掃描,Tray-托盤掃描,預掃描和快速預掃描等;可以完成分層面積百分比計算;缺陷尺寸標識;厚度與距離測量等 ;聲阻抗計算等。
綜上所述,基礎款就擁有如此強大的功能,其還有更多進階版本,可以滿足各類苛刻使用要求的客戶。同時,科視達還攜手德國 PVA TePla 在上海成立了亞洲級別的德國 PVA TePla 超聲掃描顯微鏡上海聯合實驗室,為廣大用戶提供現場看機服務,技術交流,及樣品外協測試服務。