C-SAM,全稱為超聲波掃描顯微鏡,或超聲波顯微鏡。半導體業界通常都直接簡稱為SAT,主要應用到半導體器件的后封裝檢測當中。在其正式運用到半導體工業之前,超聲波掃描顯微鏡主要用于生物學和醫學研究,但隨著時代的推進,科學家們發現,這類顯微鏡在檢測元器件內部缺陷時,也表現出了令人驚艷的能力。不過這類造價高昂的設備,在使用時也是有許多注意事項的。
1、請勿觸碰顯微鏡機器的內部電子元件,以免損壞;
2、操作時請勿將手放置在顯微鏡機器上;
3、請勿用力拉動顯微鏡控制臺;
4、使用顯微鏡時,請確保室內溫度和濕度適宜;
5、操作結束后,請關閉電源,將顯微鏡機器放回原處;
6、使用前應檢查顯微鏡機器的安全性;
7、顯微鏡操作人員應接受相關安全培訓,并承擔任何潛在的風險;
8、顯微鏡機器應定期維護和檢查,以保證正常運行;
除此之外,C-SAM也有著一套較為嚴謹的操作流程:
1、正確安裝超聲波掃描顯微鏡,將鼠標和控制臺連接到超聲波掃描顯微鏡上;
2、打開超聲波掃描顯微鏡,選擇所需的觀察模式,調節放大倍率;
3、用液體填充濾片,然后將濾片插入顯微鏡小玻片架;
4、調整聚焦輪,使液層平整,然后調整聚光輪,聚合觀察樣品;
5、選擇掃描模式,將濾片放置于掃描區域,拖動鼠標控制臺,以控制掃描位置;
6、調整掃描時間,掃描完成后記錄顯微鏡掃描結果;
7、拆卸濾片,將濾片放回原處,清潔顯微鏡,關閉顯微鏡機器;
C-SAM作為一種跨界幅度較大的檢測類設備,使用的細節和注意事項就是以上這些,但因為品牌以及產品型號有所差異,因此具體的情況還是要以說明書標注的為準,但只要大方向沒有問題,基本上數據就不會有太大的偏差,放心操作檢測即可。