掃描顯微鏡是一種利用傳播媒介的無損檢測(cè)設(shè)備。在工作中采用反射或者透射等掃描方式來檢查元器件、材料、晶圓等樣品內(nèi)部的分層、空洞、裂縫等缺陷。超聲掃描顯微鏡的原理是利用脈沖回波的性質(zhì),激勵(lì)壓電換能器發(fā)射出多束通過耦合液介質(zhì)傳遞到被測(cè)樣品,在經(jīng)過不同介質(zhì)時(shí)會(huì)發(fā)生折射、反射等現(xiàn)象,通過阻抗不同的材料時(shí)會(huì)發(fā)生波形相位、能量上的變化等現(xiàn)象,經(jīng)過一系列數(shù)據(jù)采集計(jì)算形成灰度值圖片,可用來分析樣品內(nèi)部狀況。該設(shè)備作為無損檢測(cè)分析中的一種,它可以實(shí)現(xiàn)在不破壞物料電氣能和保持結(jié)構(gòu)完整性的前提下對(duì)物料進(jìn)行檢測(cè)。被廣泛的應(yīng)用在物料檢測(cè)(IQC)、失效分析(FA)、破壞性物理分析(DPA)、可靠性分析、元器件二次篩選、質(zhì)量控制(QC)、質(zhì)量保證及可靠性(QA/REL)、研發(fā)(R&D)等領(lǐng)域。科視達(dá)專為廣大用戶提供國(guó)際上先進(jìn)的超聲掃描檢測(cè)檢驗(yàn)設(shè)備, 系德國(guó) PVA TePla 超聲波掃描顯微鏡 ( SAM /SAT ) 之中國(guó)區(qū)代理。其擁有數(shù)十款超聲掃描顯微鏡整體硬件及相關(guān)的耗材配件。其AM300基本型就支持A-(點(diǎn)掃描),B-(縱向掃描),C-(橫向掃描),D- 斜面掃描、G-/X-橫向多層掃描,P- 縱向多層掃描,3D掃描,Z-實(shí)體掃描,透射掃描(需配置透射掃描單元及接收探頭選項(xiàng)),S-掃描(透射 C-掃描同時(shí)進(jìn)行),HQ-高清掃描,順序掃描,自動(dòng)掃描,Tray-托盤掃描,預(yù)掃描和快速預(yù)掃描等;可以完成分層面積百分比計(jì)算;缺陷尺寸標(biāo)識(shí);厚度與距離測(cè)量等 ;聲阻抗計(jì)算等。綜上所述,基礎(chǔ)款就擁有如此強(qiáng)大的功能,其還有更多進(jìn)階版本,可以滿足各類苛刻使用要求的客戶。同時(shí),科視達(dá)還攜手德國(guó) PVA TePla 在上海成立了亞洲級(jí)別的德國(guó) PVA TePla 超聲掃描顯微鏡上海聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室,為廣大用戶提供現(xiàn)場(chǎng)看機(jī)服務(wù),技術(shù)交流,及樣品外協(xié)測(cè)試服務(wù)。
2023-01-11
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