聲學掃描顯微鏡是一種多功能、高分辨率的顯微成像儀器,同時具備電子顯微術高分辨率和顯微術非破壞性內部成像的特點, 那么在整個檢測過程中有哪些事項需要注意的呢?
一方面,送樣需知。表面很粗糙或者內部有很多氣泡的樣品是比較難檢測出來的;需要液體進行超聲波傳輸,可能給樣品帶來損害技術參數。
另一方面,分析數據注意點。在SAM的圖像中,襯度變化構成了重要信息,高的襯度往往在有裂縫,空洞和分層剝離的位置產生,只有這樣才好在背景中做區分。回波脈沖的正負性和強度構成一幅能反映界面狀態缺陷的超聲圖像。(1)C-SAM是的重要技術手段之一,它可與X射線分析互補;X-ray則是穿透,可以看到Voids, Crack, Delamination,但無法判斷出缺陷在哪層,C-sam可以。(2)對平直界面不連續性缺陷十分靈敏。(3)非常適合塑料封裝器件內部分層分析,也針對器件、印制電路板上熱沉焊接。(4)結合破壞性手段,焊點的分析。對設備配置和操作員經驗有要求。(5)復雜情況下的超聲分析結果需要其它技術手段比對。
一般來說,聲學掃描顯微鏡多被廣泛的應用在物料檢測、失效分析、質量控制、保證及可靠性、研發等領域。可檢用于測材料內部的晶格結構、雜質顆粒、內部裂紋、分層缺陷、空洞、氣泡、空隙等,為實事提供客觀公正的微觀依據。而細致的檢測,才能更能事半功倍。